Die Vakuummesstechnik ist ein entscheidender Bestandteil der Vakuumwissenschaft und -technologie mit steigenden Anforderungen sowohl im Verteidigungs- als auch im zivilen Bereich. Besonders wichtig ist die genaue Messung des Vakuumdrucks. Vakuummessgeräte werden häufig in der industriellen Fertigung, in der Halbleiterausrüstung, in der Nuklearindustrie und in anderen Bereichen eingesetzt. Zu den weltweit renommierten Herstellern von Vakuummessgeräten gehören MKS Instruments und INFICON. Basierend auf ihren Funktionsprinzipien gibt es zwei gängige Arten von Vakuummessgeräten: Das eine ist das Metall-Kapazitäts-Vakuummessgerät, das durch den technischen Ansatz von MKS repräsentiert wird, und das andere ist das Keramik-Kapazitäts-Vakuummessgerät, das durch den technischen Ansatz von INFICON repräsentiert wird. Im Allgemeinen bieten Vakuummessgeräte mit Metallkapazität eine bessere Leistung als Modelle mit Keramikkapazität, weshalb sie häufiger eingesetzt werden.
Das Messelement eines kapazitiven Metall-Vakuummeters besteht aus einer kapazitiven Struktur, die aus einer etwa 40 μm dicken Metallmembran und einer Keramikelektrode besteht. Wie in den Abbildungen oben gezeigt, wird die Metallmembran vor dem Schweißen mit einer großen Zugkraft gedehnt, wodurch eine Struktur entsteht, die Überlastdrücken bis zum Hundertfachen des Nennbereichs standhält. Wenn Vakuumdruck auf die Membran ausgeübt wird, verformt sie sich und verändert die Kapazität zwischen der Metallmembranelektrode und der Keramikelektrode. Durch Messung dieser Kapazitätsänderung und Kalibrierung mit Standard-Vakuumdruckreferenzen kann der absolute Vakuumwert bestimmt werden. Um die Messgenauigkeit zu verbessern, wird im Hohlraum ein Getter platziert.
Xi'an Mihui Technology Co., Ltd. hat das Vakuummessgerät VG750 unabhängig entwickelt und eine mit MKS- und INFICON-Produkten vergleichbare Leistung erzielt. Es deckt einen Messbereich von 1 Torr bis 1000 Torr ab und wird häufig in Batch-Anwendungen in der Halbleiter- und Nuklearindustrie eingesetzt. Die Leistungsspezifikationen sind in der folgenden Tabelle aufgeführt. Interessenten können sich gerne für eine Probenutzung bei uns melden.
Weitere Informationen finden Sie auf unserer Website:mihuitec.com, oder schauen Sie sich die Produktseite an: China VG750 Metallkapazitives Membranmessgerät Hersteller Lieferanten Fabrik - Angebot - Mihui Tech.
